WF6 в основному використовується як сировина для процесу хімічного осадження з парової фази (CVD) металевого вольфраму в електронній промисловості. WSi2, виготовлений з WF6, може використовуватися як матеріал проводки у великих інтегральних схемах (LSI), а також може використовуватися як сировина для напівпровідникових електродів, фтору Сировина для хімічних агентів, каталізаторів полімеризації, оптичних матеріалів тощо.