WF6 в основному використовується як сировина для процесу хімічного осадження з парової фази (CVD) металевого вольфраму в електронній промисловості. WSi2, виготовлений з WF6, може бути використаний як матеріал для проводів у великомасштабних інтегральних схемах (LSI), а також як сировина для напівпровідникових електродів, фтору як сировини для хімічних агентів, каталізаторів полімеризації, оптичних матеріалів тощо.